3 Credits
官方数据更新时间: 2026-08-28 05:35:00
先修: AMAT 3350 AMAT3350
等同课程: ELEC4520 ELEC4520
COURSE
AMAT4570
Integrated Circuit Fabrication Technology
Function Hub / Advanced Materials · 3 Credits
The course is intended to provide students with fundamental knowledge in device and integrated circuits (IC's) fabrication. The class covers the modules of device fabrication (including clean room concept, cleaning procedures, diffusion, lithography, wet processing, dry etching, chemical vapor deposition, sputtering) and process integration to form IC's.
Course 历年总评分
—
推荐度
—
难度 · 从难到易
—
工作量 · 从劳累到轻松
—
评分 · 从苛刻到宽松
—
实用性
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官方数据更新时间: 2026-08-06 14:55:26
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